除尘净化-九江除尘净化-合肥泰诺公司

复合式：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)洁净地道(clean tunnel)：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上，除尘净化工程，可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ulsi制程大都采用此种型式。

　　洁净地道另有二项长处：a.弹性扩充轻易； b.维修设备时可在维修区等闲执行。

　　(2)洁净管道(clean tube)：将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离，除尘净化，少量之送风即可得到---之洁 净度，可节省能源，不需人工的自动化出产线为相宜使用。---、食物业界及半导体业界均合用。

(3)并装局部洁净室(clean spot)：将洁净室等级10，除尘净化价格，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。